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631404-2026 Open
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Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik Germany

FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Open Published 28 Sep 2026
Closes 13 Oct 2026 13 days left
Location Gustav-Kirchhoff-Straße 4, Berlin, DEU, Germany

Description

Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen. Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden…

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Reference
631404-2026
Tender type
TENDER cn-standard
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